檢查1800度高溫退火爐真空泵電源系統(tǒng)，皮帶盤皮帶松緊，真空泵油是否位于油封觀察孔中線。檢查妥后，人工轉(zhuǎn)動真空泵皮帶盤，如無異常，可在關(guān)閉蝶閥的情況下，啟動真空泵。檢查真空爐體的杠桿手把啟動是否靈活。檢查轉(zhuǎn)動式麥氏真空計是否合乎要求。中頻電源、真空爐爐體、感應(yīng)圈之冷卻水源——蓄水池之水必須充滿，水中不得有雜質(zhì)。真空爐開動水泵，使其中頻電源，真空爐感應(yīng)圈、爐體冷卻系統(tǒng)水循環(huán)正常，并調(diào)整水壓控制在規(guī)定值。檢查真空爐體內(nèi)情況，要求真空爐體內(nèi)一級衛(wèi)生，感應(yīng)圈絕緣良好，密封真空膠帶具有彈性，尺寸合格。

欠燒時，穿透氮化硅的銀漿留有殘余，那么進入N型層的銀漿也比較少，歐姆接觸效果不好，會造成串聯(lián)的電阻較大。過燒時，銀的消耗量會較平時多一些，而且會形成有銀硅形成的混合層，這個混合層會起到阻礙的作用，同樣也會形成串聯(lián)的電阻過大。所以單單通過電阻不能推斷是欠燒還是過燒狀態(tài)。溫度1000-3000℃的HB-TS紅外測溫儀來測，高精度0.5%的，響應(yīng)時間很快。帶有在線測溫及控溫系統(tǒng)，可實時監(jiān)控爐內(nèi)的溫度，并進行自動的調(diào)節(jié)。通過石墨化爐生產(chǎn)的產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定，同時保障產(chǎn)品的要求。